賽奧特(SAT)/等離子清洗機廠(chǎng)家/SAT 100
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一 應用領(lǐng)域
賽奧特(SAT)/等離子清洗機廠(chǎng)家/SAT 100適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫學(xué)、半導體、高分子科學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域.
二 主要實(shí)驗應用
1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實(shí)驗 9.沉積實(shí)驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
三 技術(shù)特點(diǎn)
1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據.
2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗效果的準確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側開(kāi)門(mén)結構,帶有觀(guān)察窗,材料為6061材質(zhì).
4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.
6.采用觸摸屏顯示控制,手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動(dòng)完成實(shí)驗.
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應,使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。
9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。
四 技術(shù)規格
1.樣品腔體尺寸:255(深度)X100(直徑)mm ,不銹鋼材質(zhì).
2.放置樣品托盤(pán)尺寸:95(寬)X230(長(cháng))mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色
3.射頻頻率:40KHz。
4.射頻功率:200W,0到200W可調,精度:1瓦.
5.輝光放電功率:10W--200W
6.輝光放電時(shí)間設定:1秒到99分59秒.
7.氣路設置:2氣路(1路進(jìn)氣,一路放空).
8.工作氣體穩定時(shí)間:可調,可設定,范圍:0--180秒.
9.進(jìn)氣控制:壹路浮子流量計控制.
10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。
11.進(jìn)氣壓力:通入空氣時(shí)常壓,接入鋼瓶時(shí),鋼瓶進(jìn)氣壓力調整到0.1-0.2Mpa
12.供電電源:~220V/50Hz
13.外形尺寸(寬*深*高)mm:456X493X248mm
14.整機重量(約):20Kg
五 真空泵
標準配置為機械油泵:1)抽速:2升/秒 2)極限壓強:6*10-2帕 3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口,排氣口KF25接口 5)電源線(xiàn)為陰插線(xiàn)
六 基本配置
主機+真空系統(雙極機械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線(xiàn)、合格證
七 選配件
(一)機械油泵 型號:VRD-8
1.抽速:2.2升/秒 2.極限壓強:≤5*10-2帕 3.噪音;≤56db 4.工作環(huán)境溫度:5—45
(二)干泵(1) 型號:GWSP150
1.抽速:2升/秒 2.極限壓強:≤6帕 3.噪音;≤57db
4.工作環(huán)境溫度:5--45℃
干泵(2) 型號: SPH10
1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強:≤2帕 3.噪音;≤55db
4.工作環(huán)境溫度:5--45℃
八 操作過(guò)程
1.確認配件完好:在開(kāi)始操作之前,需要確保所有配件如氣體、氣管、密封性和電源等都已正確安裝且匹配。
2.打開(kāi)設備并檢查:打開(kāi)設備,進(jìn)入操控面板,系統會(huì )對設備進(jìn)行檢查。如果沒(méi)故障警報,可以進(jìn)入下一步。
3.設置配方:進(jìn)入配方界面,確認配方信息,包括氣體類(lèi)型、氣壓、處理時(shí)間、功率等參數。確認無(wú)誤后,進(jìn)入下一步。
4.啟動(dòng)設備并進(jìn)行處理:?jiǎn)?dòng)設備,設備會(huì )開(kāi)始抽真空,并進(jìn)行表面處理工序。處理完成后,等待設備破空,然后取出處理過(guò)的產(chǎn)品。
5.檢查處理效果:產(chǎn)品處理完成后,確認處理效果是否正確。如果處理效果滿(mǎn)意,可以將產(chǎn)品放入下一道工序中。
6.關(guān)閉設備:在一天的工作結束后,關(guān)閉設備,并確保所有閥門(mén)和電源都已關(guān)閉。